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株式会社村田制作所（以下简称“村田”）近日宣布，成功开发出面向工业设备的数字三轴 MEMS ^（1）加速度传感器“SCA3400系列”。该系列产品在长期使用过程中的偏移寿命漂移^（2）值控制在 0.5mg（毫伽）以下，在业内处于居先水平^（3），具备优异的耐久性和长期稳定性，适用于桥梁、建筑等结构物的劣化监测系统，预计将于2025年10月开始量产。

注释

1.MEMS（微机电系统）：一种通过对硅片等材料进行精密加工，集成传感器结构与电子电路的微型化制造技术。

2.偏移寿命漂移：指传感器在长期使用过程中，其输出值随时间发生偏移的现象。该数值越高，代表漂移程度越大。

3.数据来源：截至2025-08-04，由村田提供。

随着工业设备数字化进程加速，对结构物和机械设备异常或损伤的自动检测需求日益增长，预测性维护的重要性也显著提升。在此背景下，利用传感器监测状态变化，已成为实现自动化运维的重要手段之一。尤其在桥梁、建筑等结构健康监测领域，监测通常需要长期持续进行，因此，加速度传感器是否能够准确捕捉结构物的微小形变或位移变化，将直接影响整个监测系统的可靠性。然而，传统高精度加速度传感器虽能检测细微倾斜，但其偏移寿命漂移值较高，随着使用时间的延长，输出基准易发生偏移，进而难以准确判断结构物的劣化情况。

为应对上述挑战，村田结合自有 MEMS 制造工艺与先进电路设计，开发出“SCA3400系列”产品，实现了在检测微小倾斜角度的同时，将偏移寿命漂移控制至 0.5mg 以下。该产品还具备出色的抗振动性能和温度稳定性，在恶劣工业环境中亦可实现长期稳定运行。

未来，村田将持续推动高精度 MEMS 加速度传感器技术的发展，满足市场的多样化需求。

主要特点

1.偏移寿命漂移值控制在 0.5mg 以下，适合长期稳定输出需求。

2.低噪声特性，可支持捕捉微小的动态变化。

3.具备良好的抗振动和抗温度变化能力，适用于严苛工作环境。

4.内置自诊断功能，可实时监控传感器运行状态，提升系统安全性。

5.外形尺寸与接口方式延续以往产品设计，便于客户减少额外设计工时。

主要规格